潔凈廠房排氣系統(tǒng)安全技術(shù)措施
發(fā)布者：翼展凈化工程公司瀏覽次數(shù)：發(fā)布時間：2024-02-19
在電子工業(yè)潔凈廠房中各種類型的排氣系統(tǒng)都會涉及安全技術(shù)措施。其中集成電路、液晶顯示器面板制造的潔凈廠房不僅排氣系統(tǒng)和類生，且排氣量大，有的工藝設(shè)備排氣口的廢氣排出濃度還較高等，為了確保電子工業(yè)廢氣處理系統(tǒng)的安全可靠運行，在國家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)》（GB 51401—2019） 中作出有關(guān)廢氣處理系統(tǒng)的安全技術(shù)措施規(guī)定，匯總一部分供涉及相關(guān)工程的設(shè)計、建造者實施執(zhí)行：
排風(fēng)中含有燃燒爆炸性、毒性物質(zhì)時，排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)滿足下列要求：
a.燃燒爆炸性、毒性物質(zhì)未經(jīng)處理的排風(fēng)管路，應(yīng)保持相對于路由區(qū)域的負(fù)壓值
b.中央廢氣處理系統(tǒng)應(yīng)按一級負(fù)荷供電，一級負(fù)荷供電的電量應(yīng)保證系統(tǒng)排風(fēng)量不小于正常運行時系統(tǒng)排風(fēng)量的 50%；
c.排風(fēng)中含有燃燒爆炸性物質(zhì)時，排風(fēng)機(jī)應(yīng)設(shè)置備用；
d排風(fēng)中含有極毒或劇毒物質(zhì)時，排風(fēng)機(jī)和處理設(shè)備均應(yīng)設(shè)置備用。
依據(jù)生產(chǎn)工藝要求，產(chǎn)品生產(chǎn)過程必須使用極毒、劇毒物質(zhì)時，應(yīng)采用自動化設(shè)備并應(yīng)采取密閉、隔離和負(fù)壓作業(yè)等措施；生產(chǎn)工藝設(shè)備中產(chǎn)生有毒有害物質(zhì)的腔體應(yīng)采取排風(fēng)措施，并應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求的負(fù)壓值。揮發(fā)性有機(jī)物皮氣排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)配置備用風(fēng)機(jī)，且排風(fēng)機(jī)應(yīng)按一級負(fù)荷供電，使用一級負(fù)荷供電的風(fēng)機(jī)風(fēng)量應(yīng)大于系統(tǒng)排風(fēng)量的 50%。經(jīng)處理后的工藝設(shè)備排出的揮發(fā)性有機(jī)物皮氣不應(yīng)循環(huán)使用。當(dāng)采用轉(zhuǎn)輪濃縮處理揮發(fā)性有機(jī)物廢氣時，派縮后的揮發(fā)性有機(jī)物廢氣濃度不應(yīng)大于燃燒下限的 50%
在美國消防標(biāo)準(zhǔn) NFPA 318 中對半導(dǎo)體產(chǎn)品制造潔凈廠房排氣管路的消防安全措施作了相關(guān)規(guī)定，如設(shè)在潔凈廠房內(nèi)的用于排放含有可燃、易燃物質(zhì)的排風(fēng)管道的直徑或等效直徑大于或等于250mm 時，排風(fēng)管內(nèi)應(yīng)設(shè)噴頭，其自動噴水滅火系統(tǒng)的設(shè)計噴水強(qiáng)度不得小于 1.9L/(min • ㎡),風(fēng)管內(nèi)自動噴水滅火系統(tǒng)的設(shè)計流量應(yīng)滿足最遠(yuǎn)端5個噴頭的出水量，單個噴頭的出水量不應(yīng)小于76L/min；水平風(fēng)管內(nèi)噴頭的距離不得大于 6.1m，垂直風(fēng)管內(nèi)噴頭的間距不應(yīng)大于 3.7m；設(shè)有噴頭的風(fēng)管設(shè)置的噴頭應(yīng)便于定期維護(hù)檢修。對于可燃、易燃、有毒的工藝排氣系統(tǒng)不得設(shè)置防火閥等。對于有毒有害物質(zhì)的排氣系統(tǒng)，經(jīng)廢氣處理后的污染因子濃度應(yīng)在 PC-TWA值以下排除或輸送有燃燒或爆炸危險物質(zhì)的排氣系統(tǒng)的風(fēng)管，不應(yīng)穿過防火墻和防火隔墻。其余酸性、堿性、揮發(fā)性有機(jī)物和特種廢氣系統(tǒng)的風(fēng)管不宜穿越防火墻或防火隔墻，當(dāng)必須穿越時，排風(fēng)系統(tǒng)的防火閥設(shè)置應(yīng)遵守下列規(guī)定：不應(yīng)設(shè)置熔片式防火網(wǎng)；含有極毒和劇毒物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)不應(yīng)設(shè)置防火閥，但緊鄰建筑構(gòu)件其中一側(cè)的排風(fēng)管應(yīng)采用與建筑構(gòu)件耐火極限相同的構(gòu)造進(jìn)行保護(hù)
② 堿性廢氣系統(tǒng)處理設(shè)備宜設(shè)置備用，排風(fēng)機(jī)應(yīng)設(shè)置備用。電子工業(yè)潔凈廠房的堿性廢氣系統(tǒng)處理設(shè)備和排風(fēng)機(jī)應(yīng)按一級負(fù)荷供電，使用一級負(fù)荷供電的堿性系統(tǒng)處理設(shè)備和排風(fēng)機(jī)風(fēng)量應(yīng)大于系統(tǒng)排風(fēng)量的 50%。
設(shè)計排風(fēng)管路系統(tǒng)時，應(yīng)避免風(fēng)管內(nèi)的揮發(fā)性有機(jī)物蒸氣積聚。設(shè)置自動噴淋系統(tǒng)的排風(fēng)管，應(yīng)避免噴淋排水回流到工藝設(shè)備，風(fēng)管支撐系統(tǒng)應(yīng)能承載噴淋時風(fēng)管系統(tǒng)的重量。揮發(fā)性有機(jī)物廢氣排風(fēng)管的設(shè)計不宜選用易出現(xiàn)氣體泄漏的管道密封形式或管件。
③揮發(fā)性有機(jī)物廢氣處理系統(tǒng)應(yīng)配置備用風(fēng)機(jī)，且排風(fēng)機(jī)應(yīng)按一級負(fù)荷供電，使用一級負(fù)荷供電的風(fēng)機(jī)風(fēng)量應(yīng)大于系統(tǒng)排風(fēng)量的 50%。
VOC 廢氣處理系統(tǒng)應(yīng)配置風(fēng)量或風(fēng)壓低于設(shè)定值的報警裝置；爐膛超溫時高溫?zé)煔鈴臓t膛直排煙道的應(yīng)急排放管；處理系統(tǒng)的監(jiān)測、日常操作及保養(yǎng)所需的輔助設(shè)施及控制系統(tǒng)失效情況下的緊急安全處理措施等安全保護(hù)裝置內(nèi)及靠近外門的外墻上設(shè)置電氣裝置。
④事故排風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)機(jī)的供電負(fù)荷等級不應(yīng)低于相關(guān)工藝設(shè)備的供電負(fù)荷等級，并應(yīng)分別在室設(shè)置有事故排風(fēng)的場所不具備自然進(jìn)風(fēng)條件時，應(yīng)設(shè)置補(bǔ)風(fēng)系統(tǒng)，補(bǔ)風(fēng)量宜為排風(fēng)量的 80％，補(bǔ)風(fēng)機(jī)應(yīng)與事故排風(fēng)機(jī)聯(lián)鎖。
含有劇毒和較毒物質(zhì)的事故排風(fēng)系統(tǒng)其排氣筒高度不應(yīng)低于 15m，含有極毒物質(zhì)的事故排風(fēng)系統(tǒng)其排氣筒高度不應(yīng)低于 25m。排氣筒出口處的有毒有害物質(zhì)濃度應(yīng)低于立即危害生命和健康濃度的 50%。需要設(shè)置事故通風(fēng)的場所，宜設(shè)置有毒、有害或燃燒爆炸性氣體檢測及報警裝置，報警后聯(lián)動開啟事故通風(fēng)裝置
